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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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閱讀：179 發布時間：2020/09/22
臺式狹縫涂布機
涂布系統主要包括供料單元和涂布單元，涂布單元是通過利用精密機械加工
所制作的上下模及安裝在上下模間的薄墊片所組成，供料單元由儲料、輸送的注
射泵及過濾裝置等組成。系統由涂布模具相對于基片作準確運動，通過控制速率、
精密計量和泵送工藝流體，將液體化學材料從上下模之間的縫隙擠出涂布于移動
的基板（玻璃、不銹鋼和塑料等）上形成薄膜。涂膜厚度可由液體流量與基板移
動速度直接計算，其優點為涂膜均勻性高、可適用的涂料粘度范圍廣、涂布速度
快、以及可制作大面積的涂膜。適用于有機太陽能電池 OPV 和鈣鈦礦太陽能電池 PVK 等基材的涂布，非連續基材如 LCD 玻璃基板光阻涂布，也應用于光學膜（增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等）、OLED 涂布等。多種規格尺寸可選可定制，多種人性化配置可選：加熱臺、特殊氣體吹淋系統、多尺寸刀頭，多規格墊片等，滿足客戶多種需求，為客戶量身定制高精密專業設備。
•設備整體采用兩級調整確保大面積平臺水平度，涂布平臺有單獨的調平機構，平臺是否平整作為工藝門檻的一步相當于地基。
•涂布刀頭采用專用合金，特殊表面熱處理的進口大尺寸刀頭（自有設計技術），防有機溶劑，防形變。
•Z 軸采用伺服電機配合編碼器加光柵尺雙閉環，確保刀頭的位置精度，和刀頭的水平度。
•集成化注射泵，可聯動控制溶液流速，自動進液，自動除氣，自動管路清洗（需要配備清洗液，刀頭需拆卸清洗）。
•涂布平臺運行機構采用直線伺服電機提高平臺穩定性，將工藝中影響的因素減到很小。
•廢液回收系統，可配合管路清洗進行廢液回收，方便廢液處理。
•涂布平臺帶有多區域真空吸附功能，基底定位功能，方便基底定位以及涂布過程的固定。
•多段式涂布工藝，更好的保證基底首尾膜厚的控制。
